Lithographic and Micromachining Techniques for Optical Component Fabrication

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Kley, Ernst-Bernhard
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 11/9/01
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)