Surface Scattering and Diffraction for Advanced Metrology

Bibliografische gegevens
Andere auteurs: Gu, Zu-Han
Formaat: Elektronisch E-boek
Taal:Engels
Gepubliceerd in: SPIE Digital Library, 10/23/01
Onderwerpen:
Online toegang:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Omschrijving
Beschrijving item:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Fysieke beschrijving:1 online resource
Formaat:Mode of access: Internet
ISBN:9780819441614
Toegang:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students