Duparré, A. Optical Metrology Roadmap for the Semiconductor, Optical, and Data Storage Industries II. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Duparré, Angela. Optical Metrology Roadmap for the Semiconductor, Optical, and Data Storage Industries II. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Duparré, Angela. Optical Metrology Roadmap for the Semiconductor, Optical, and Data Storage Industries II. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.