Karam, J. M. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.
Style de citation Chicago (17e éd.)Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.
Style de citation MLA (9e éd.)Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.