Karam, J. M. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումKaram, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումKaram, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.