APA-ийн эшлэл(7 дахь хэвлэлт)

Karam, J. M. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.

Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)

Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.

MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)

Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.

Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.