Karam, J. M. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Karam, Jean Michel. Micromachining and Microfabrication Process Technology VII. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.