Стиль цитування APA (7-ме видання)

Herr, D. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI. SPIE Digital Library.

Чикаго стиль цитування (17-те видання)

Herr, Daniel. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI. SPIE Digital Library.

Стиль цитування MLA (9-ме видання)

Herr, Daniel. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI. SPIE Digital Library.

Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.