Kawahira, H. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology IX. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Kawahira, Hiroichi. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology IX. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Kawahira, Hiroichi. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology IX. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.