Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002

Bibliografiset tiedot
Muut tekijät: Courtois, Bernard
Aineistotyyppi: Elektroninen E-kirja
Kieli:englanti
Julkaistu: SPIE Digital Library, 4/19/02
Aiheet:
Linkit:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Samankaltaisia teoksia