Behringer, U. 18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Behringer, Uwe. 18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Behringer, Uwe. 18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.
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