Trích dẫn kiểu APA (xuất bản lần thứ 7)

Behringer, U. 18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.

Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)

Behringer, Uwe. 18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.

Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)

Behringer, Uwe. 18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.

Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.