Herr, D. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Herr, Daniel. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الإصدار التاسع)Herr, Daniel. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.