APA-ийн эшлэл(7 дахь хэвлэлт)

Herr, D. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII. SPIE Digital Library.

Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)

Herr, Daniel. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII. SPIE Digital Library.

MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)

Herr, Daniel. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII. SPIE Digital Library.

Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.