Herr, D. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Herr, Daniel. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 9)Herr, Daniel. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..