Yen, A. Optical Microlithography XVI. SPIE Digital Library.
Cita Chicago Style (17a ed.)Yen, Anthony. Optical Microlithography XVI. SPIE Digital Library.
Cita MLA (9a ed.)Yen, Anthony. Optical Microlithography XVI. SPIE Digital Library.
Precaución: Estas citas no son 100% exactas.