Behringer, U. 19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումBehringer, Uwe. 19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումBehringer, Uwe. 19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.