Behringer, U. 19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Behringer, Uwe. 19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.
Citação MLA (9ª ed.)Behringer, Uwe. 19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. SPIE Digital Library.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.