Lithographic and Micromachining Techniques for Optical Component Fabrication II

Библиографические подробности
Другие авторы: Kley, Ernst-Bernhard
Формат: Электронный ресурс eКнига
Язык:английский
Опубликовано: SPIE Digital Library, 11/3/03
Предметы:
Online-ссылка:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)