Kimmel, K. 23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoKimmel, Kurt. 23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology. SPIE Digital Library.
Citação norma MLAKimmel, Kurt. 23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology. SPIE Digital Library.
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