Chiao, J. Device and Process Technologies for MEMS, Microelectronics, and Photonics III. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Chiao, Jung-Chih. Device and Process Technologies for MEMS, Microelectronics, and Photonics III. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Chiao, Jung-Chih. Device and Process Technologies for MEMS, Microelectronics, and Photonics III. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.