Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology IX. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology IX. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology IX. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.