Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology IX. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology IX. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology IX. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.