Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS III

Библиографические подробности
Другие авторы: Tanner, Danelle
Формат: Электронный ресурс eКнига
Язык:английский
Опубликовано: SPIE Digital Library, 12/23/03
Предметы:
Online-ссылка:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Схожие документы