Janson, S. MEMS/MOEMS Components and Their Applications. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Janson, Siegfried. MEMS/MOEMS Components and Their Applications. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Janson, Siegfried. MEMS/MOEMS Components and Their Applications. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.