Silver, R. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII. SPIE Digital Library.
শিকাগো স্টাইল (17 তম সংস্করণ) উদ্ধৃতিSilver, Richard. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII. SPIE Digital Library.
M.L.A (9 ম সংস্করণ) উদ্ধৃতিSilver, Richard. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII. SPIE Digital Library.
সতর্কবাণী: সাইটেশন সবসময় 100% নির্ভুল হতে পারে না.