Advances in Resist Technology and Processing XXI

Մատենագիտական մանրամասներ
Այլ հեղինակներ: Sturtevant, John
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային էլ․ գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: SPIE Digital Library, 1/1/04
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Նկարագրություն
Նյութի նկարագրություն:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Ֆիզիկական նկարագրություն:1 online resource
Ձևաչափ:Mode of access: Internet
ISBN:9780819452894
Հասանելի:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students