Smith, B. Optical Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Smith, Bruce. Optical Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Smith, Bruce. Optical Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.