Smith, B. Optical Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Smith, Bruce. Optical Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Smith, Bruce. Optical Microlithography XVII. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.