Citação norma APA

Komuro, M. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI. SPIE Digital Library.

Citação norma Chicago

Komuro, Masanori. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI. SPIE Digital Library.

Citação norma MLA

Komuro, Masanori. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI. SPIE Digital Library.

Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.