Цитирование APA (7-е изд.)

Komuro, M. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Komuro, Masanori. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (9-е изд.)

Komuro, Masanori. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.