Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
Style de citation Chicago (17e éd.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
Style de citation MLA (9e éd.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
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