Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումUrey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումUrey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.