Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.