Optical Micro- and Nanometrology in Manufacturing Technology

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Gorecki, Christophe
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: SPIE Digital Library, 8/17/04
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)