Wang, Y. Advanced Microlithography Technologies. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Wang, Yangyuan. Advanced Microlithography Technologies. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Wang, Yangyuan. Advanced Microlithography Technologies. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.