Wang, Y. Advanced Microlithography Technologies. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Wang, Yangyuan. Advanced Microlithography Technologies. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Wang, Yangyuan. Advanced Microlithography Technologies. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.