Цитирование APA (7-е изд.)

Liebmann, L. Design and Process Integration for Microelectronic Manufacturing III. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Liebmann, Lars. Design and Process Integration for Microelectronic Manufacturing III. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (9-е изд.)

Liebmann, Lars. Design and Process Integration for Microelectronic Manufacturing III. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.