Wong, A. K. K. Optical Imaging in Projection Microlithography. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Wong, Alfred K. K. Optical Imaging in Projection Microlithography. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Wong, Alfred K. K. Optical Imaging in Projection Microlithography. SPIE Digital Library.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.