Bakshi, V. EUV Sources for Lithography. SPIE Digital Library.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Bakshi, Vivek. EUV Sources for Lithography. SPIE Digital Library.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Bakshi, Vivek. EUV Sources for Lithography. SPIE Digital Library.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.