Komuro, M. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XII. SPIE Digital Library.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Komuro, Masanori. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XII. SPIE Digital Library.
Citatione MLA (9a ed.)Komuro, Masanori. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XII. SPIE Digital Library.
Attenzione: Queste citazioni potrebbero non essere precise al 100%.