Nano- and Micro-Metrology

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς:	Ottevaere, Heidi
Μορφή:	Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:	Αγγλικά
Έκδοση:	SPIE Digital Library, 8/18/05
Θέματα:	Conference papers and proceedings.
Διαθέσιμο Online:	Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Διαδίκτυο