ICO20: MEMS, MOEMS, and NEMS

Bibliografiske detaljer
Andre forfattere: Esashi, Masayoshi
Format: Electronisk eBog
Sprog:engelsk
Udgivet: SPIE Digital Library, 1/18/06
Fag:
Online adgang:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Lignende værker