Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XI. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումMaher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XI. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումMaher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XI. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.