Johnson, E. Micromachining Technology for Micro-Optics and Nano-Optics IV. SPIE Digital Library.
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Johnson, Eric. Micromachining Technology for Micro-Optics and Nano-Optics IV. SPIE Digital Library.
Citação MLA (9ª ed.)Johnson, Eric. Micromachining Technology for Micro-Optics and Nano-Optics IV. SPIE Digital Library.
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