Lercel, M. Emerging Lithographic Technologies X. SPIE Digital Library.
Dyfyniad Arddull ChicagoLercel, Michael. Emerging Lithographic Technologies X. SPIE Digital Library.
Dyfyniad MLALercel, Michael. Emerging Lithographic Technologies X. SPIE Digital Library.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.