Chiao, J. Micro- and Nanotechnology: Materials, Processes, Packaging, and Systems III. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Chiao, Jung-Chih. Micro- and Nanotechnology: Materials, Processes, Packaging, and Systems III. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Chiao, Jung-Chih. Micro- and Nanotechnology: Materials, Processes, Packaging, and Systems III. SPIE Digital Library.
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