Reliability, Packaging, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS VI

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Hartzell, Allyson
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: SPIE Digital Library, 1/20/07
Schlagworte:
Online-Zugang:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Beschreibung
Beschreibung:<strong>On-Campus Access Only (IP based access)</strong>
Beschreibung:1 online resource
Format:Mode of access: Internet
ISBN:9780819465764
Zugangseinschränkungen:Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students