Archie, C. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXI. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Archie, Charles. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXI. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Archie, Charles. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXI. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.