Цитирование APA (7-е изд.)

Behringer, U. 23rd European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Behringer, Uwe. 23rd European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (9-е изд.)

Behringer, Uwe. 23rd European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.